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QM球盟会·(中国),球盟会-国产厂商引入首台光刻机设备!
发布于:2026-01-03 12:05:34

来历:宁波前湾新区治理委员会

7月15日动静,近日宁波冠石半导体有限公司迎来要害节点,引入首台电子束掩模版光刻机。据悉,该装备是光掩模版40nm技能节点量产和28nm技能节点研发的重点装备。

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光掩模版是集成电路制造历程中光刻工艺所利用的要害部件,近似在相机“底片”,光芒颠末掩膜版后,可于晶圆外貌暴光形成电路图形。今朝,我国高精度半导体光掩模版产物重要仍依靠在入口,国产化率极低。

据相识,冠石半导体重要从事45nm~28nm半导体光掩模版的范围化出产。当前,冠石半导体一期干净车间设计产能为月产5000片180nm~28nm集成电路掩模版。据冠石相干卖力人先容,企业正加快推进海外结构战略,并于世界一流半导体光掩模版制造技能班底的加持下,估计本年底,企业将陆续实现为海内外中高端集成电QM球盟会·(中国),球盟会-路掩模版提供制版办事。

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这次引入电子束掩模版光刻机,冠石半导体将成为海内技能能力进步前辈的自力光掩模版出产企业,可弥补海内高阶制程光掩?杖保蚱仆庋蟾叨斯庋谀0娴穆⒍铣『吓懦。岣呶夜氲继骞庋谀2撇陌踩翱煽匦。

集微网此前报导,南京冠石科技株式会社在2023年5月16日与宁波前湾新区治理委员会签订《投资和谈书》,投资设置装备摆设半导体光掩膜版制造项目。该项目实行主体为宁波冠石半导体有限公司,项目总投资约20亿元,先期投资16亿元,拟用地约68.8亩,设置装备摆设周期规划为60个月,重要出产45nm~28nm成熟制程的半导体光掩膜版。

冠石科技聚焦显示行业,主业务务产物中的偏光片、功效性器件、旌旗灯号毗连器、液晶面板和出产辅耗材等可广泛运用在液晶电视、智能手机、平板电脑、条记本电脑、智能穿着等带有显示屏幕的消费电子产物,今朝已经与京东方、华星光电、富士康、彩虹光电、维信诺等显示面板制造企业成立互助瓜葛。

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