来历:Park Systems
SEMICON CHINA 2024将在3月20-3月22日于上海举办,持续参展的Park Systems将以“立异 卓着 优质”为主题,携旗下的焦点产物重磅表态此博览会。

公司简介速览
Park Systems建立在1988年,是全世界首个推出贸易原子力显微镜产物的上市公司。Park公司建立30多年来,始终致力在纳米范畴的描摹 力学丈量及半导体进步前辈制程工艺的计量的新技能新产物的开发。其纳米计量体系(包括 AFM 及椭偏仪)被半导体、电子、质料科学、生命科学等浩繁行业的研究职员及科学家广泛利用。
Park Systems为半导体系体例造计量、器件掉效阐发以和各类工业运用提供了一系列主动化原子力显微镜。其产物组合可以或许满意半导体及显示行业的需求,提供对于纳米级布局的精准节制及丈量,这对于在器件制造及机能晋升尤为主要。Park原子力显微镜技能所提供的丈量正确性、反复性及周全性显著提高了制成效率,并晋升了终端产物的质量。
焦点产物抢“鲜”看

ParkNX-Wafer
用在半导体晶圆制程
·为FA及研究试验室提供精准的原子力显微镜解决方案
·实现高量率的精准且高反复性的丈量
·低噪声Z探测器可切确丈量原子力显微镜外貌描摹
·利用真正非接触模式扫描方式,实现样品无损检测

ParkNX-3DM
主动化工业AFM用在高分辩率三维计量
·专为凹陷及悬垂布局的侧壁阐发举行了优化
·采用立异设计的扭转扫描器,实现精准的3D计量
·可以或许于邃密的光刻胶外貌举行非粉碎性丈量
ParkNX-eAFM
·经由过程C-AFM及EFM实现晶圆级电学阐发
·面向纳米器件的电测试解决方案及纳米成像能力
·对于薄膜击穿电压和相干特征、阈值电压的成像

ParkNX-Mask
用在半导体光掩模修复
·慎密集成到产线历程中,实现即时、无缝修复
·主动化原子力显微镜用在外貌粗拙度及图案步高丈量
QM球盟会·(中国),球盟会-·兼容主动化双POD体系,用在EUV掩模处置惩罚
·综合解决方案,用在缺陷检测及修复后验证
·正确、无损的机械缺陷去除了

ParkNX-Hybrid WLI
AFM及WLI联用技能,Park NX-Hybrid WLI 应运而生!
·它联合了顶级的半导体计量技能:白光干预干与仪(WLI)及原子力显微镜(AFM)
·WLI及AFM一路于规模、分辩率及速率方面体现精彩
·两个物镜可经由过程电动线性镜头改换器主动改换

ParkNX-TSH
用在年夜型平板显示器计量
·专为成立下一代平板显示器出产工场的制造商而开发
·用在OLED、LCD及2D编码器样品的全主动探针扫描头
·为OLED、LCD及光掩模提供靠得住且高分辩率的AFM图象
·降服了样品尺寸及重量的限定
售后办事优质暖心
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及客户对于接中,工程师能踊跃介入工场的出产计划环节,再按照中国市场环境,去工场对于客户的装备需求举行出厂查抄以和调试。若有需要,咱们的工程师还有会伴随客户去工场对于装备举行预验收。
当问题呈现时,客户可以经由过程德律风、微信、收集留言等多种方式接洽到咱们。假如前提答应,咱们不仅可以举行视频协助,甚至可以调派就近职员上门处置惩罚。于中国,咱们的备件堆栈可以实现80%以上的本土维修。
于Park Systems,咱们致力在向全世界客户提供高水准的办事质量,并提供周全的技能撑持,帮忙客户实现他们的方针。咱们的专业技能团队随时提供Park原子力显微镜安装、操作等相干方面的帮忙。咱们承诺和时、有用地解决客户的相干疑难。

400-878-6829
www.parksystems.cn
Park北京分公司
北京市海淀区彩及坊路8号天创科技年夜厦518室
Park上海试验室
上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118
Park广州试验室
广州市河汉区五山路200号河汉北文创苑B座211
【近期集会】
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-QM球盟会·(中国),球盟会-